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Silicon Thin-body를 이용한 100㎚ 이하 SOI-NMOSFET에서의 제작

이성재 | 조원주 | 오지훈 | 임기주 | 안창근 | 양종헌 | 백인복

[1] 한영신,et al. 반도체 EDS공정에서의 패턴인식기법을 이용한 불량 유형 자동 분류 방법 연구 , 2003 .