Erfassung von Standardgeometrieelementen im Mikrometerbereich: Herausforderungen und Lösungsansätze (Characterization of Standard-Geometry Micro Structures: Chances and Challenges)

Die industrielle Produktion von mikro- und nanostrukturierten Bauteilen und Systemen erfordert die Entwicklung einer adäquaten Messtechnik zur Qualitätssicherung, da die Ist-Ausprägungen von Standardgeometrieelementen eine wesentliche Entscheidungsgrundlage für eine zuverlässige Funktionsbeurteilung und effiziente Regelung von Fertigungsprozessen bilden. In diesem Zusammenhang beschäftigt sich der Beitrag mit der Gegenüberstellung von unterschiedlichen Messverfahren für standardgeometrische Messaufgaben im Mikrometerbereich. Die Ergebnisse von zwei durchgeführten Ringvergleichen werden in diesem Artikel vorgestellt und diskutiert. The industrial production of micro- and nano-structured parts and systems requires the development of adequate metrology for quality control. The dimensional characterization of standard-geometric micro structures is fundamental for the assessment of functionality and for production control. In this context the paper compares different measurement technologies which are applied to standard-geometry measurement tasks. The results of two round-robin tests which have been carried out are presented and discussed in this article.