박막공진기 면적변화에 따른 대역통과여파기의 성능개선 연구

본 논문에서는 이동통신용 박막공진기를 이용한 여파기를 모의실험하고 제작하였다. 수직구조의 해석을 위해 일차원 CAD 모렐을 사용하였고 여파기의 설계를 위해 수정된 Butterworth-Van Dyke 모델이 이용되었다. 압전 물- 질로는 AIN를, 전극도체로는 백금을 사용하였다. CAD 모델의 검증을 위하여 전극 두께의 변화에 따른 실험결과를 모의실험 결과와 비교하였으며 반공전점의 비교에서 0.5 % 의 오차범위 이내에서 일치하였다. 네 가지 형태의 박막공진여파기를 제작하였으며, 또한 여파기의 병렬단에 위치한 단위 공진자의 면적에 대한 영향을 고려하기 위하여 병렬단의 단위 공진자의 크기가 각각 직결단의 두 배와 세 배의 크기를 가지는 여파기를 설계 제작하여 모의 실험결과와 비교하였다. 병렬단 공진자의 면적이 증가할수록 전체 크기의 변화없이 우수한 저지대역특정을 얻을수 있으며, 3/2 단 사다리형 여파기에서 병렬단에 직렬단 공진기 면적의 두 배인 공전기를 사용할 경우 6 dB, 세 배인 공진기의 경우 11 dB 의 저지대역 성능 개선을 보였다.