Effect of Nitridation of Silicon Dioxide on Its Infrared Spectrum

Nitruration de couches epaisses d'oxyde dans l'ammoniac. Analyse de la dispersion des spectres de transmission IR pour des couches d'oxyde, d'oxyde nitrure et de nitrure CVD. L'oxyde nitrure n'est pas le meme materiau que le nitrure de silicium CVD