광통신용 1.3 ㎛ Ridge Waveguide Distributed Feedback Laser Diode의 제작과 특성 평가

발진파장이 1.3 ㎛인 Ridge Waveguide Distributed Feedback Laser Diode(RWG-DFB-LD)를 제작하고 특성을 평가하였다. 회절격자 형성은 광간섭무늬 노광법을 이용하였고 결정성장은 LPE로 수행하였다. 제작된 RWG-DFB-LD의 발진 임계전류는 67 ㎃이었고, 1296.5 ㎚ 파장에서 측모우드 억제율 30 dB 이상으로 단일 종모우드로 발진하였다. 금지대역폭 측정에 의한 회절격자 결합계수(k)는 40 ㎝-¹로 평가되었다. 소신호 변조특성평가 결과 제작한 RWG-DFB-LD는 1.2 Ith에서 1.99 ㎓의 변조대역폭(f_(-3dB)) 특성을 보였다.