Optimized chemical vapor deposition of borophosphosilicate glass films

Le depot sous pression atmospherique est effectue dans des conditions optimales pour economiser les reactifs et reduire la contamination. On utilise des reacteurs de laboratoires et a l'echelle industrielle. Les proprietes des couches ayant de l'importance pour les circuits integres ne sont pas modifiees. On discute plusieurs aspects technologiques: stabilite du verre pendant le traitement, fusion dans divers milieux ambiants, chauffage rapide isotherme pour l'ecoulement du verre. Bibliographie