论文信息 - Interferometrischer Sensor und interferometrisches Kalibriersystem für Ultrapräzisions-Anwendungen (Interferometric Sensor and Calibration System for High-Precision Applications)

Interferometrischer Sensor und interferometrisches Kalibriersystem für Ultrapräzisions-Anwendungen (Interferometric Sensor and Calibration System for High-Precision Applications)

Abstract Es wurde ein kompaktes, ultrapräzises Laserkalibriersystem aufgebaut und erfolgreich getestet. Das System besteht unter anderem aus einem neuen interferometrischen Winkel- und Längensensor und einer DSP-gestützten Signalverarbeitungseinheit. Es wird mittels Matlab gesteuert, sodass Messabläufe und Datenauswertung sehr einfach und flexibel gestaltet werden können. Mit Hilfe eines Autokollimators, eines induktiven Tasters und eines AFM konnten die Eigenschaften des Kalibriersystems erfolgreich demonstriert werden. Derzeit sind statische eindimensionale Kalibrierungen mit Schrittweiten von 20 pm bis ±6 μm sowie dynamische bei Frequenzen bis 2 kHz möglich.

Eberhard Manske | Gerd Jäger | Matthias Welter

[1] P L Heydemann,et al. Determination and correction of quadrature fringe measurement errors in interferometers. , 1981, Applied optics.

[2] Ondrej Cip,et al. A scale-linearization method for precise laser interferometry , 2000 .

[3] Kyuwon Jeong,et al. The dynamic compensation of nonlinearity in a homodyne laser interferometer , 2001 .

[4] H. Büchner,et al. Interferometrisches Meßverfahren zur berührungslosen und quasi punktförmigen Antastung von Meßoberflächen / Interferometric measuring technique for the contactless and quasi-pointlike scanning of measuring surfaces , 1992 .

[5] Alan S. Morris. Measurement and calibration requirements for quality assurance to ISO 9000 , 1997 .