论文信息 - Plasma etching of SiC surface using NF3 - 字舞流文

Plasma etching of SiC surface using NF3

T. Abe | M. Inaba | Z. Ogumi | K. Shimizu | A. Tasaka | S. Tada | K. Takahashi | T. Tojo | K. Tanaka | W. Shimizu | K. Mori